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　　清潔度無塵室是污染控制的基礎?？刂瓶諝鈶腋∥⒘舛?，從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。

 

　　清潔度無塵室是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數的快速成長，也增加了對制造環(huán)境（無塵室）潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米。也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。

 

　　清潔度無塵室較主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造。由于納米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。

 

　　例如當金屬塵粒落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造的重要要素。

 

　　清潔度無塵室可分為層流型和亂流型，層流潔凈室是指空氣由一側以同速流向另一側，使室內產生的塵?；蚣毦粫蛩闹軘U散而被平推出室外或者經過回風口過濾器過濾處理，而達到好的除菌效果，該方式比較適合用于高潔凈度等級要求的行業(yè)潔凈室。

 

　　而亂流潔凈室是指空氣由潔凈室頂部經過組合式空調機組初中效過濾器過濾，加壓由經過保溫的風管分散送到各個房間，然后經過送風口送入潔凈室內，以達到凈化的效果，該送風方式比較常見，回風一般做在角落或者立柱的底部，整體回風；潔凈室的送風系統(tǒng)少不了各種空氣過濾器的嚴格控制。